前段时间  ，随着经济说苏州复工复产的快速推进  ，东方晶源积极研究相关组织设备交付工作任务  ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和关键因素尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付说苏州新客户。这次出机  ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机国外知名晶圆代工厂后  ，第二次能赢得头部新客户的青睐和能赢得。不仅如此如此  ，标志着东方晶源硬件产品中直接进入批量交付多种模式。

这次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515  ，面向300mm硅片工艺制程  ，除较强该产品中中惯大多数数高灵敏度电性和物理缺陷检测、有效完全控制 无法解决 28nm及左右良率无法解决 、自主创有新高性能缺陷检测引擎（DNA综合数据库）、两个基础深度研究学习的缺陷自动分类（ADC）算法等产品中特点外  ，东方晶源研发核心团队都在上一代产品中的两个基础上升级优化优化  ，使SEpA-i515较强更高的TPT和更优的平台发展设计整体搭配  ，设备运行效率、性能指标均有大幅大幅提升。更让人更让人  ，上一代产品中SEpA-i505 如今在国外头部晶圆代工厂量产两个月  ，产品中性能及稳定性能赢得充分验证。

另一台交付的产品中为关键因素尺寸量测设备  ，型号为SEpA-c410  ，面向300mm硅片工艺制程  ，予以 先进的电子束成像系统支持 和高速硅片传输方案 ，整体搭配精准的量测算法  ，可快速实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键因素尺寸量测。该设备自去年底6月底直接进入国外头部晶圆代工厂成立以来产线验证进展顺利 ，阶段性验收成果能赢得新客户能赢得。

东方晶源电子束量测检测设备 ，依托所承担的部分国家 科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目中 ，经几数年攻坚克难  ，突破多项核心关键因素新型技术 ，从零部件到整机设计整体搭配制造  ，均较强其实自主知识产权  ，填补国外空白。目前为止  ，两款设备直接进入批量交付多种模式 ，产业化进程成绩丰硕成果。

这次设备交付的新客户所在旁边海我的国集成电路产业较强举足轻重的地位  ，目前为止如今变成国外集成电路产业综合综合水平 高、产业链完整、产业生态生存环境不好集聚地变成。东方晶源更家看重在说苏州的发展方面 和布局  ，继计算光刻该软件（OPC）直接进入说苏州头部晶圆代工制造企业后  ，硬件产品中正式正式宣布登陆说苏州。为更大的服务提供左右海为核心的长三角新客户  ，东方晶源正式宣布去年底8月份在说苏州设立公司自身能力自身能力  ，多种模式形成说苏州总部、说苏州公司自身能力自身能力和说苏州公司自身能力自身能力为核心的三地布局  ，有待制造企业贴近产业前沿高地  ，为集成电路制造制造企业带去优质的产品中和服务提供  ，更大的与上下游制造企业携手有待产业发展方面 的不仅如此如此 ，构筑制造制造企业竞争壁垒。

东方晶源自正式正式宣布成立成立以来  ，专注于芯片制造关键因素环节的良率完全控制和大幅提升市场领域  ，多种模式形成以计算光刻该软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的产品中矩阵 ，并向更大研究相关市场领域积极布局。硬件诸自身能力  ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发工作任务  ，有待夯简直国外电子束检测市场领域领先的整体市场地位和核心新型技术技术优势。该软件诸自身能力 ，光刻工艺严格仿真该软件PanSim如今在新客户侧予以 验证  ，或将 7月底release V1.0版本。未来几年  ，东方晶源将立足通用该软件平台发展和检测装备两大市场领域  ，寻求横纵向发展方面 机遇 ，为新客户应用提供更家多样化的产品中  ，向着国外集成电路市场领域良率管理领导者的一个目标奋进。